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《咏国产超分辨光刻装备问世》
在海一方-908
紫电清尘除雾来,晶圆纳米起惊雷。
七旬破壁开新径,万次精雕锁细魁。
镜底乾坤凝匠巧,光中经纬拓崔嵬。
莫叹芯路多艰险,华夏锋芒自此摧。

注:首联以 “紫电” 喻紫外光源,写装备突破技术封锁横空出世,纳米级光刻引发行业震动;
      颔联 “七旬” 暗指七年攻关,“破壁” 既指突破技术壁垒又呼应超分辨原理,“万次精雕” 状光刻制程之繁密;
      颈联聚焦核心技术,“镜底乾坤” 赞光学系统精妙,“光中经纬” 颂工艺路线创新;


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